芯片级ESD测试

芯片级ESD(静电放电,Electrostatic Discharge)测试是一种针对集成电路(IC)的可靠性测试,用于评估芯片在制造、封装、运输或使用过程中抵抗静电放电干扰的能力。广电计量拥有成熟的技术团队及行业资深专家,能够高效的提供ESD测试服务。

评价

服务内容

HBM(人体放电模型),CDM(充电器件模型),MM(机器模型),TLP(传输线脉冲),VFTLP(极快速传输线脉冲)

服务范围

集成电路(IC),光模块,分立器件,裸DIE

检测标准

ANSI/ESDA/JEDEC JS-001:2024人体模式静电放电敏感度测试-元件等级

GJB 548C-2021 方法 3015.1微电子器件试验方法和程序

MIL-STD-883-3:2019 方法 3015.9微电路环境测试方法

AEC-Q100-002 REV-E人体模型静电放电试验

AEC-Q101-001 REV-A人体模型静电放电试验

ANSI/ESDA/JEDEC JS-002:2022元器件静电放电敏感度测试-器件等级

AEC-Q100-011 REV-D带电器件模型静电敏感度试验

ANSI/ESD STM5.5.1-2022传输线脉冲静电放电敏感度测试 

JESD22-A115C:2010机器模型静电敏感度试验 

GJB 128B-2021 方法1020  半导体分立器件试验方法 

IEC61000-4-2:2008电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验 

道路车辆静电放电产生的电骚扰试验方法 ISO10605:2008

检测项目

测试设备 厂家 测试项目
MK.2TE 赛默飞世尔

①HBM:30V~8000V,最小步进1V 

②MM:30V~2000V,最小步进1V 

③支持768channels,5组电源,最大电压电流输出5A@30V,1A@100V

④Latch-up闩锁测试

MK.4TE 赛默飞世尔

①HBM:25V~8000V,最小步进1V 

②MM:25V~1500V,最小步进1V 

③支持2304channels,7组电源,最大电压电流输出10A@30V,1A@100V

④Latch-up闩锁测试

Orion3 赛默飞世尔 ①CDM:25V~2000V,最小步进1V
TLP HPPI (德国)

①脉宽:100nS

②上升沿:2nS,10nS

③最大脉冲电压:±2000V

④最大短路输出电流40A

VFTLP ESDEMC

①脉冲宽度:1ns, 2.5ns, 5ns, 10ns, 100ns, 1000ns

②上升时间:0.1ns, 0.2ns, 0.6ns, 1ns, 10ns

③最大脉冲电压:±2000V

④最大输出电流40A

相关资质

CNAS

测试周期

3~7个工作日

服务背景

静电放电是电荷瞬间释放的现象(如人体接触芯片时的放电),其电压可达数千伏,足以击穿芯片内部的绝缘层或损坏晶体管,导致功能失效或性能退化。芯片流片后若因ESD问题失效,返工成本极高(尤其是先进工艺)。测试能在设计阶段识别漏洞,降低后期风险。随着半导体工艺进入纳米级(如7nm、5nm),芯片尺寸缩小、集成度提高,对ESD的耐受能力显著下降。ESD测试成为芯片可靠性的核心保障之一。

我们的优势

广电计量ESD测试依托国家级实验室技术实力,配备国际先进设备及全场景测试方案,通过CNAS、CMA等权威认证,提供高效精准的静电防护检测服务,助力企业提升产品可靠性及市场竞争力。

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