EDS能谱分析

EDS是英文Energy Dispersive Spectrometer的简称，即X射线能谱分析，其原理是利用不同元素的特征X射线具有不同频率，也就是不同的能量，利用这种特征X射线能够对样品所包含的元素进行定性和半定量检测，从而得知样品的成分。值得注意的是，EDS一般只能分析周期表中Li元素以后的元素（不包括Li元素）。EDS通常需要和电子显微镜配套使用，以达到微区定点成分分析的目的。常见搭配的电子显微镜包括SEM (扫描电子显微镜)，FIB (聚焦离子束显微镜)和TEM (透射电子显微镜)，对应的检测即SEM-EDS, FIB-EDS, TEM-EDS。