AMB(Active Metal Brazing)基板检测是确保高性能电子器件(如IGBT、SiC/GaN功率模块)可靠性的关键环节,主要针对陶瓷基板(如Al₂O₃、AlN、Si₃N₄)与金属层(铜/铝)的钎焊质量进行多维度评估。
测试对象
陶瓷基板(如Al₂O₃、AlN、Si₃N₄)、金属层(铜/铝)
测试项目及标准
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类别 |
测试项目 |
参考标准 |
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外观与尺寸检测 |
外观缺陷检测 外观质量 尺寸检测(金属层厚度、尺寸公差、翘曲度、孔位精度、表面平整度/粗糙度) |
T/BMCA 027—2024 活性技术钎焊陶瓷铜板规范 |
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铜纯度测试 |
铜板表面工艺 高温特性 翘曲度 阻焊耐高温 导热系数 膨胀系数 三点弯曲 |
GB/T 5121.1 |
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工艺性能测试 |
铜条剥离 绝缘耐压 打线键合 烧结空洞率 焊接湿润性 |
GJB 548微电子器件试验方法和程序 |
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可靠性测试 |
温冲测试 |
GJB 548微电子器件试验方法和程序 |
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失效分析及微观检测 |
微观结构检测(SEM+EDS+EBSD) |
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我们的优势
广电计量拥有高精度SEM、X-ray、超声波扫描显微镜(SAT)等先进设备,可精准检测微米级缺陷,通过CNAS/CMA认证,已助力多家企业解决SiC模块热失效难题,提供从检测到工艺优化全流程服务,帮助客户提升产品质量和生产良率。
常见质量问题
1.金属层与陶瓷层结合不良
原因:钎焊温度不足或钎料分布不均。
解决方案:优化钎焊温度曲线,确保钎料均匀涂覆。
2.表面缺陷(裂纹、气泡)
原因:陶瓷烧结过程中应力释放不均。
解决方案:改进烧结工艺,增加退火步骤。
3.尺寸偏差
原因:加工设备精度不足或材料热膨胀系数不匹配。
解决方案:使用高精度加工设备,优化材料匹配。
4.电气性能不达标
原因:陶瓷材料纯度不足或钎焊层污染。
解决方案:使用高纯度陶瓷材料,严格控制钎焊环境。